Tiêu Diễn tự là Quyền Đạt, người Trung Đô, lúc đầu nhận chức Ninh Sóc tướng quân, trấn thủ Thọ Xuân; sau đó lại nhận thêm chức Quán quân Tướng quân, phụng lệnh dẫn quân đi đánh quân Bắc Nguỵ. Sau khi cuộc chiến đó kết thúc, ông lại nhận thêm chức Tấn An vương Hựu quân Tư mã trấn thủ Hoài Lăng. Cuối cùng nhậm chức Phụ quốc Tướng quân Ung châu Thứ sử trấn thủ Tương Dương.

Phế Đế phái tướng Lưu Sơn Dương đàn áp nhưng Tiêu Diễn đã báo với tướng Tiêu Hình Châu (người chỉ huy các lực lượng quân sự của Kiến Khang vương Tiêu Bảo Dung, Thứ sử Kinh Châu) rằng Lưu Sơn Dương sẽ tấn công vào cả Kinh Châu và Ung Châu. Tiêu Hình Châu liên minh với Tiêu Diễn giết chết Lưu Sơn Dương và tuyên bố dự định lập Tiêu Bảo Dung (488 – 502) lên ngôi. Mùa xuân năm 501, Tiêu Hình Châu lập Tiêu Bảo Dung lên ngôi vua, hiệu là Hòa Đế tại Giang Lăng, thủ phủ Kinh Châu. Trong khi đó, Tiêu Diễn tiến quân về Kiến Khang, liên tiếp giành được thắng lợi, buộc Thứ sử Giang Châu Trần Bá Chi đầu hàng. Mùa thu năm 501, Tiêu Diễn cho quân bao vây Kiến Khang. Trong khi đó tại Giang Lăng, các lực lượng trung thành với Phế Đế do tướng Tiêu Quý chỉ huy đã đánh bại Tiêu Hình Châu. Tiêu Đán (anh Tiêu Diễn) cùng Hạ Hầu Tương (bộ hạ của Tiêu Hình Châu) hộ giá Hòa Đế đến Kiến Khang.

Năm 502, các tướng Vương Trân Quốc (王珍國) và Trương Cơ sợ Phế Đế sẽ giết họ vì không thể thoát khỏi vòng vây nên giết Phế Đế và đầu hàng Tiêu Diễn. Tiêu Diến vào Kinh đô, buộc Vương Thái hậu phong mình làm Đại tư mã, Kiến An Công và trì hoãn việc đưa Hòa Đế về kinh. Họ hàng Hòa Đế dần bị thủ tiêu, chỉ còn sót lại Tân An vương Tiêu Bảo Nghĩa bị tàn phế và Bá Dương Vương Tiêu Bảo Ân chạy thoát đến Bắc Ngụy. Tiêu Diễn được phong tước Lương Công, sau đó là Lương Vương, gia phong Cửu tích. Cùng năm đó, khi đưa Hòa Đế đến Cô Thục (Mã An Sơn, An Huy), Tiêu Diễn buộc Hòa Đế nhường ngôi cho, giáng Hòa Đế làm Ba Lăng vương, sau đó giết chết. Tiêu Diễn lên làm vua, đổi quốc hiệu là Lương, xưng Lương Vũ Đế vào năm 502, nhà Nam Tề sụp đổ và được thay thế bằng nhà Lương.